多點超聲波液位開關PLS960，多點超聲波液位開關PLS960簡介

美國sensaras晟爾斯多點超聲波開關PLS960介紹

超聲波侵入式多點液位系統主要用于半導體工業中PVD、
CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內高純度化
學品液位的高精度和高可靠性的測量。
液位系統在化學氣相沉積過程中至關重要，如ALD，CVD，
PVD等半導體晶圓制造過程。
PLS960系列多點液位系統用于檢測非常昂貴的高純度化
學品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、
DECT、TCA和金屬化初級粒子等）的準確數量，減少化學廢
物，增加產量和利潤。

通過超聲波回波處理技術檢測液體在容器中的存在狀態
不受被測物的介電常數、顏色、密度和粘度等參數影響
探頭采用316L 不繡鋼材質，通過?”或?” VCR與容器連接
探頭采用套筒式或叉式結構一體式設計，無可動部件
模塊與探頭分離，無需校準，易安裝

多點液位測量
高位/溢出報警
低位/停止、再進料
半導體行業和醫藥制藥行業

輸入： 24VDC
輸出: 每點1A SPDT
1A SPDT 報錯點、自動進料顯示
本地溫度顯示可選
可高達7點液位顯示和報錯顯示
對不同液體也無需校準

重復性: +/- 0.04”(1mm)（典型）
精度: +/- 0.06 (1.5mm)
電流消耗：大250mA（典型）

材質： 316LS不銹鋼

3/4" VCR連接結構可達到7個液位檢測點

1/2" VCR連接結構可達到4個液位檢測點

多于7個點的檢測請與我們聯系，可定制達16個點。

K-type SLE 溫度傳感器（可選）
低液位檢測點可置于探頭末端向上5毫米
兩個液位檢測點小距離可為2.5毫米
大長度 : 600毫米，若需更長與我們聯系
溫度: 0° to 125°C (標準)，達 160°C的定制請與我們聯系

如按安裝指南正確安裝不能達到我們所達成的規格，在
發貨日起45自然日內，Sensaras接受免費退換貨。
產品保修期：自發貨之日起18個月。

資料下載

PLS960全套中文資料.pdf